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精密研磨拋光系統

  • 瀏覽次數:8547
  • 更新時間:2018-10-10
產品簡介:

Logitech PM5精密研磨拋光系統是帶有一個工作站的臺式機,適用于科學研究水平的研磨和拋光,能夠完成4英寸及以下尺寸樣品的小批量處理。具有加工樣品*性高、規格水平高、表面光潔等特點。

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Logitech PM5精密研磨拋光系統是帶有一個工作站的臺式機,適用于科學研究水平的研磨和拋光,能夠完成4英寸及以下尺寸樣品的小批量處理。

具有加工樣品*性高、規格水平高、表面光潔等特點。

精密研磨拋光系統特點:

1、完善的控制系統

在半導體、光電、光學以及地質應用領域,Logitech PM5是值得信賴的選擇,典型的應用包括晶片背減、光纖及波導器件制備、激光棒拋光、MEMS等。無論是對何種高質量表面平整度控制的需求,PM5均能給予用戶滿意的處理效果。

研磨/拋光的所有功能,包括盤轉速、擺臂設定、滴料速度,均顯示在操作控制顯示屏,通過操縱桿對操作控制顯示屏的參數進行設定。

2、自動化功能增強

機器運行內置計時器,在無人看管時可以設定計時器,計時器時間設定范圍0-10小時,在處理材料完成機器自動停止(拋光狀態下報警不停機),控制系統向操作員發出蜂鳴提醒。

為了進一步提高易用性,Logitech PM5部分配備真空管道,以聯通真空裝置,VS2真空系統單元獨立放置,在提供真空系統同時具有過濾防污染的功能??梢钥吹?/span>,Logitech的全套備件配置使用為用戶帶來了足夠大的加工靈活性。

Logitech PM5夾具具有在線監測功能,可實時顯示樣品處理的去除量,監測精度1um;為適應各種大小尺寸的樣品處理,夾具對晶片作用壓力可以連續調節,通過增加夾具壓力塊,壓力調節范圍zui大可達0.1 - 7Kg;夾具zui大處理樣品尺寸4英寸。

3、直觀的操作控制系統

快速、高效的研磨/拋光,便于拆卸,方便用戶在不同的研磨過程之間的快速轉換,以及研磨和拋光工藝的變換。這種靈活性使PM5成為實驗室空間有限的情況下的首要選擇。

Logitech PM5具有耐化學腐蝕的配置,適合在腐蝕性物質環境中使用,如砷化鎵拋光中常常使用Chemlox拋光液。耐腐蝕的設計保障了系統在酸堿工作環境中運行。

4、精的滴料系統

磨料自動填系統通過一個可調導料槽,確保精的控制料液流從料桶滴入研磨盤或拋光盤。滴料的控制設計,具有很高的經濟性,特別適合多樣化研究使用。

此外,可拆卸的料液托盤導出廢料,使其流入廢料桶,從而保障設備安全穩定的長時間持續運行,同時減輕設備的清理工作。

5、完整的參數控制,確保結果*

研磨/拋光的工藝過程中,盤的表面情況會在一定程度上反饋在樣品表面,通過控制研磨盤的盤面型從而提高樣品平整度;通過保持拋光盤的表面狀態從而提高樣品表面質量。

為獲得*結果,設備往復運動的速度和擺幅可以精確的控制樣品處理效果,從而提高了結果的高重復性和高*性。

技術規格:

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